技术编号：38085677
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及扫描电镜，具体涉及一种组合减振装置以及成型方法。背景技术、扫描电子显微镜(简称扫描电镜)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，其分辨率可达到纳米级甚至优于.纳米，在新材料、新能源、国防、科学研究等领域起着无法替代的作用。、扫描电镜使用高能电子束对样品进行扫描成像，为了保证成像分辨率，需要把电子束像光束一样准直和聚焦，而高能的电子束撞击空气分子会被吸收或散射，准直性会被破坏，因此扫描电镜样品室需要使用分子泵或其他真空泵...
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