存储器装置及其制作方法与流程技术资料下载

技术编号:38349886

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本申请涉及半导体技术的领域,并且更具体地,涉及存储器装置及其制作方法。背景技术、三维(d)存储器装置(例如d nand存储器装置)是有前景的存储器装置,其有着具有比常规平面存储器高得多的存储密度的潜力,并且可以满足消费者电子设备、云计算和大数据对更大容量和更佳性能的不断增长的需求。d存储器装置通常在单一的芯片中包括多个堆叠层以实现更高的密度、更高的容量、更快的性能、更低的功耗和更佳的成本效率。技术实现思路、根据本公开,提供了一种存储器装置制作方法,包括:提供半导体结构。半导体结构具有沿...
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