技术编号：38510199
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术属于晶圆盒，特别是一种用于晶圆盒清洗的旋转储位装置。背景技术、晶圆盒在清洗时需要放在旋转储位装置内，通过驱动所述旋转储位装置旋转，从而带动晶圆盒旋转以便于清洗，为了保证晶圆盒在旋转时不容易掉落且便于水流冲刷，一般使用一些夹具将晶圆盒夹紧并撑开，夹具将通过设置在夹具上的多个挂钩悬挂在旋转储位装置内，不同的晶圆盒通过不同尺寸的夹具夹紧，在夹具的背面设置多个挂钩，从而能够将夹具悬挂在水平设置的挂杆上，挂钩的位置一般为三个且分别设置在夹具的两端和中间，从而保证悬挂时的稳定。、由于现有的晶圆盒的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。