一种抑制SAW器件杂散响应的结构的制作方法技术资料下载

技术编号:38629353

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本发明涉及声表面波器件,更具体地说,涉及一种抑制saw器件杂散响应的结构。背景技术、近几十年来,声表面波(surface acoustic wave,saw)器件得益于其优良的性能及低廉的制造成本而深受射频前端市场的青睐,随着g技术的普及与发展,对射频前端市场中的saw器件提出了更高、更多的要求,例如:高频、高带宽、高带外抑制及低插损等,而传统saw器件由于叉指换能器(interdigital transducer,idt)工艺水平与saw器件压电基底层材料本身波速的受限,很难实现高频下的高...
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