技术编号:38694767
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及化工制备,具体为一种高纯钨或钼浆料的生产方法。背景技术、高纯钨和钼是制造集成电路的基本材料,其制备方法主要包括粉末冶金法、熔炼法和化学气相沉积法。、现有技术中,高纯钨和钼浆料在生产过程中,由于钨的熔点高、硬度大、导电性差等特性,导致加工制备过程非常困难,目前主要的制备工艺是粉末冶金法,但该工艺存在制备的制品致密度低、性能差以及成形三维复杂制品困难的问题。、因此,我们需要一种高纯钨或钼浆料的生产方法,用来解决现有钨和钼浆料在制备的制品致密度低、性能差以及成形三维复杂制品困难的问题;...
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