技术编号：38703142
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及光通信，特别是涉及光调制器。背景技术、在硅基集成光电系统中，基于soi(silicon-on-insulator，绝缘体上硅)工艺的行波电极调制器一般由光波导负载和行波电极组成，电磁波在行波电极间传输，光载波在负载光波导中传输。在光载波和电磁波传输过程中，电磁波与光载波相互作用使光载波的相位发生变化，从而完成电信号到光信号的调制。评价行波电极调制器的性能指标主要包括电光带宽以及阻抗。、在相关技术中，硅基行波电极调制器主要是基于cmos(complementary metal-oxi...
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