技术编号：38790796
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及中晶舟，特别是涉及高纯碳化硅大尺寸晶舟的制备方法。背景技术、boat晶舟boat原意是单木舟。在半导体ic制造过程中，常需要用一种工具作芯片传送及加工，这种承载芯片的工具，我们称之为boat。一般boat有两种材质，一是石英(quartz)，另一碳化硅(sic)。sicboat用在温度较高(drivein)及lpsin的场合，晶舟与晶圆配合使用，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。、例如申请号为cn.的申请属于半导体技术...
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