一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置的制作方法技术资料下载

技术编号:39298115

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本技术涉及橡胶混炼制备装置,更具体地说,本技术涉及一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置。背景技术、半导体制造的过程中,需要使用全氟醚橡胶进行密封,全氟醚橡胶生产时需要使用混炼制备装置,对全氟醚橡胶进行制备,在制备的过程中还需要添加配合剂,而配合剂一般是从制备装置的上方添加,这就导致配合剂无法快速充分的与物料接触混合,还可能导致部分物料接触的配合剂较少,影响全氟醚橡胶的品质。技术实现思路、为了克服现有技术的不足,本实用新型提供了一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置,具有均匀的添加配...
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