技术编号：39330642
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及半导体，尤其涉及一种晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读存储介质。背景技术、在半导体生产过程中，由晶圆到制作成半导体成品需要进行数十上百道工艺，半导体检测技术对于控制产品的可靠性和良率至关重要。通过晶圆的检测设备可以检测出晶圆图像，在晶圆图像的检测过程中，由于检测设备中运动器件的震动、外界环境干扰等因素，基于检测设备得到的晶圆图像往往出现错位、拉伸、压缩等情况，无法准确反映晶圆的真实图案。因此，为了获取真实的晶圆图像，有必要对检测设备的扫描误差进行补偿，改善扫描策略以提升晶圆图像质...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。