技术编号:39446273
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及直拉法生产单晶,更具体地说,本技术涉及一种直拉法生产单晶用多瓣拼接降氧装置。背景技术、直拉法又称为切克劳斯基法,它是年由切克劳斯基(czochralski)建立起来的一种晶体生长方法,简称cz法。cz法的特点是在一个直筒型的热系统汇总,用石墨电阻加热,将装在高纯度石英坩埚中的多晶硅熔化,然后将籽晶插入熔体表面进行熔接,将旋转的籽晶下降与熔体浸润接触,逐步提升,经引颈、缩颈、放肩等径控制、收尾等步骤完或拉晶。、中国专利公开了一种新型单晶炉降氧上保温筒(cnu...
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