技术编号：39510414
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精密测量，尤其涉及一种低漏流继电器的单路电路拓扑及多路电路拓扑。背景技术、随着半导体技术和加工工艺的发展，高制成的工艺的发展，nm级晶圆加工的要求，需要用到fa级的电流测量。在仪表量测电路，信号传输链路，高精密仪表电路，ate(automatic test equipment，自动测试)，wat(wafer acceptance test，晶圆接收测试)等设备中，需要广泛的用到继电器开关，但是现有继电器开关的漏流严重影响精密测量。在实际测量系统中，继电器电路拓扑通常包括多个继电器，多...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。