技术编号：39548776
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及割膜辅助工具，特别涉及一种可旋转的手动割膜台。背景技术、晶圆切割完成后，需对晶圆进行扩膜然后挑片；市面常见的全自动扩膜、割膜一体机具有速度快、效率高，但其有两个缺点：一是割膜后残留在环上的膜过多，会影响扩晶环放置时的平稳性；二是该一体机所耗费的成本较大。因此手动割膜台依然是主流。现有的割膜台中，膜料没有定位结构，速度过大时容易使得膜料位置发生偏移，因此晶圆在切割时候只能够低速进行切割，影响割膜的效率。技术实现思路、本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种可旋转的手动割...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。