技术编号：39794316
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及多晶硅生产，具体涉及一种节能型电子级多晶硅冷氢化工艺的装置系统及生产方法。背景技术、在改良西门子法生产多晶硅、歧化制硅烷生产多晶硅或歧化法制硅烷的过程中，均是以三氯氢硅作为原料，通过热分解反应或歧化反应实现目标产物的获得。但是，无论是分解反应还是歧化反应，在生成目标产物的同时均会产生大量的副产物四氯化硅，如果无法合理地回收利用这部分四氯化硅，将会导致多晶硅或硅烷的生产成本急剧攀升。、为了解决大量副产物四氯化硅的回收问题，目前多晶硅或硅烷气的生产工艺通常是将四氯化硅通过氢化的方法转化...
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