技术编号：39919917
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及光伏材料加工设备，尤其涉及一种载具、承载装置及镀膜设备。背景技术、半导体加工设备能够对片状材料(如太阳能硅片)进行镀膜，通常是将多个片状材料放置于载具内，然后将载具送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，主要目的是提高太阳能电池片的光转换率。、对片状材料(如太阳能硅片)进行镀膜前或者镀膜后，载具需要通过搬运装置进行搬运，目前搬运过程中无法实现对载具的准确搬运，搬运过程中容易出现载具掉落或载具搬运变形等现象，造成载具损坏的现象。技术实现思路、根据本实用新型的一个方面，目的在...
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