技术编号：40010316
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造设备，具体涉及一种蒸镀装置。背景技术、钙钛矿电池是利用钙钛矿型的金属卤化物半导体作为吸光材料的太阳能电池，属于第三代太阳能电池，也称作新概念太阳能电池，钙钛矿电池具有高效发电、成本低、适应性广等特点，受到了学术界和产业界的广泛关注。、目前常用的钙钛矿电池制备方法为真空蒸镀法，真空蒸镀法采用多源共蒸工艺，即将不同蒸镀材料注入各自的蒸发源中，通过独立控制各个蒸发源的蒸发速率，以在基板上形成不同蒸镀材料混合的薄膜，然而，在实际蒸镀过程中，常常出现各个蒸镀材料蒸汽混合不均匀情况，...
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