技术编号：40302522
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及工件冷却，具体涉及一种工件加工台冷却装置。背景技术、离子束溅射镀膜机是用离子源发出离子，经引出、加速、聚焦，使其成为束状，用此离子束轰击置于高真空的靶，将溅射出的原子进行镀膜，离子束溅射镀膜光学元件能帮助需求严苛的激光光学应用实现可能达到的最高性能，这些光学元件上的薄膜具有密集、无孔且均匀的镀膜层，因此具有无漂移且对温度不敏感的性能。、离子束刻蚀会给基片(被刻蚀基片)带来热量，对于便于对基片进行后续的加工，一般要求在加工完毕后对基片进行冷却处理，现有技术中对于基片的冷却处理方式大多...
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