半导体装置和半导体装置的制造方法与流程技术资料下载

技术编号:40384841

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本发明涉及半导体,尤其是涉及一种半导体装置和半导体装置的制造方法。背景技术、rc-igbt(逆导型绝缘栅型双极晶体管reverse conducting-insulated gatebipolar transistor)是指在单个芯片上集成了igbt(绝缘栅型双极晶体管insulatedgate bipolar transistor)和frd(快恢复二极管fast recovery diode)。一般而言,行业中通常将igbt和frd通过集总式或分布式的方法,集成在芯片的元胞区,二者共用终端,...
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