技术编号：4044686
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片抛光，特别是涉及一种抛光过程中的陶瓷盘接引盘。背景技术目前硅片抛光领域，陶瓷盘的搬运方式有两种，分别为手动式和自动式两种，而且两种方式各有优劣，手动方式加工成本低廉，但作业人员工作强度增大，而且造成产品质量不稳定，受人为因素影响大，而自动方式相对质量稳定，但其投资成本高，加工效率低下。发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种抛光过程中的陶瓷盘接引盘，使得产品质量稳定，同时降低作业人员工作强度。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案...
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