技术编号:40517719
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于传感器,尤其涉及一种阵列式mems陀螺仪高精度数据融合方法。背景技术、微机械陀螺仪(mems陀螺仪)是一种高技术产品,是当代微机械电子系统(mems)领域特别重要的分支之一,它基于微机械加工制造技术生产的,其工作原理是借助科氏力效应,将外部旋转运动转化为陀螺仪内部极板的相对位移。相较于机械陀螺仪及光学陀螺仪,mems陀螺仪包含以下突出特点:()体积小,质量轻。mems技术是对微米/纳米材料进行规划、制造、完善、测量与支配的高新技术领域,故mems陀螺仪体积可达到微米/纳米数量级,方...
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