技术编号:40707333
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及单晶硅生产,更具体地说,本技术涉及一种单晶炉热场新型热屏固毡。背景技术、目前,单晶炉的热屏在内热屏层和外热屏层之间增设了保温层,该保温层的材料为软毡,使得内热屏层的温度不易传到外热屏层上,从而提高了热屏的保温性能,热屏上放置固毡,固毡为一体式,且在热屏固毡上放置石英环。、经检索,公开号为cnu的中国专利公开了一种拼接式热场固毡及单晶炉,针对层叠软毡的上部与下部常常不与保温筒上下沿平齐,需要人工用裁剪工具修平,但是人工裁修做不到百分百平整,在使用过程中,不平整的连接...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。