一种油扩散泵的环形喷嘴结构的制作方法技术资料下载

技术编号:40872419

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本发明属于油扩散泵,具体涉及一种油扩散泵的环形喷嘴结构。背景技术、油扩散泵是一种利用低压、高速和定向流动的油蒸气的射流,进行抽真空的真空设备。其原理为通过各级喷嘴射出高速气流,并利用低压、高速和定向流动的油蒸气,使得被抽气体在油蒸气流中扩散且被压缩,从而实现抽气过程。、目前,市面上的油扩散泵,大多数是一塔型结构为主,通过各级喷嘴射出高速气流,进行逐级的抽气,其喷嘴处吸气面的大小决定了整个油扩散泵的抽气量、抽气速率、抽气压强范围等性能。现有的塔型结构的油扩散泵,一般都只会从喷嘴的外侧进行抽气,...
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