技术编号:41042887
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电池片加工,尤其涉及等离子微损切片系统。背景技术、等离子体(plasma)又叫做电浆,是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质,其被广泛应用于半导体器件的生产过程中。相关技术中随着电池片厚度和尺寸的改变,对电池片切割精度和切割效果的要求提高,相关技术中切割质量不高,受限于温度和切割方式造成电池片边缘质量低下。技术实现思路、本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。、为此,本发明的实施例提出一种等离子微损切片系统,该等离子微损切片...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。