技术编号：41627027
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及管式pecvd设备的，特别是涉及一种用于适用管式pecvd的辅热灯管的拆装结构。背景技术、pecvd淀积的薄膜具有优良的电学性能、良好的衬底附着性以及极佳的台阶覆盖性，使其在超大规模集成电路、光电器件、mems等领域具有广泛的应用，通过延长恒温时间来达到中间舟叶被均匀加热，但延长加热时间将较大程度降低设备镀膜产能，因此为了减少工艺时间和提高镀膜均匀性，会在反应腔室内增加辅助加热机构，单独对石墨舟上方和下方进行辅助加热，使得石墨舟及其内部的硅片的温度均匀性更好，满足工艺温度的需求，辅助...
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