技术编号:420018
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种导电膜形成用组合物、一种使用这种组合物的导电膜和一种制造这种组合物的方法。特别是涉及一种能适用于形成电子元件布线的导电膜形成用组合物、一种制造这种组合物的方法和用此方法制造的膜例如布线或电极。 背景技术 铝作为布线材料应用在太阳能电池、半导体元件和多种电子元件如电子显示装置中。此前,通常这种铝膜是用真空工艺如溅射、真空沉积或化学气相沉积(CVD)来制造的,并把得到的铝膜用抗蚀剂进行光刻制成铝图案(图形;Pattern)。然而,由于这种方法需要一种大规模的真空沉积设备,所以它在能耗方面是不利的。...
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