技术编号：4302419
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种周转箱，包括箱体和至少一个卡合单元；所述箱体具有一用于取放物料的开口；所述卡合单元的两端均设置有弹性部件，所述卡合单元靠近所述开口并通过所述弹性部件与所述箱体连接。在本实用新型提供的周转箱中，在箱体靠近开口的位置处增设至少一个卡合单元，通过所述卡合单元卡住所述周转箱内的晶圆，能够避免晶圆在运输或操作过程中从所述周转箱的开口中滑出。专利说明周转箱[0001]本实用新型涉及集成电路制造领域，特别涉及一种周转箱。背景技术[0002]在集成电路制...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。