技术编号：4384018
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基板容器。更具体地说，本发明涉及包括流体流路的基板容器。背景技术 总体上，承载器用于在盘片或晶片加工之前、之中或之后，运输和/或储存批量硅晶片或磁盘。晶片可以加工成集成电路，盘片可以加工成用于计算机的磁性存储盘。这里，术语“晶片”、“盘片”或“基板”可以相互替换使用，除非另外指出，其中任一术语都可以指半导体晶片、磁盘、平面基板以及其它此类基板。将晶片盘加工成集成电路板时通常包含多个步骤，在其中盘片在不同加工地点加工，并且在加工步骤之间储存和运输。...
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