技术编号：4388481
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种分配化学液体产品的系统，尤其是在制造半导体的设施中分配化学液体的系统，以及该系统的实施方法。更具体地讲，本发明涉及在制造半导体的设施中分配化学产品的系统，该系统包括液体产品的储存装置、液体产品的分配装置以及液体产品的应用装置，该液体经分配装置从储存装置分配至应用装置。在如前所述的制造单元中，多种气体(以气态和液态)和多种化学液体通过一般由316L型或304L型不锈钢制成的管、阀、流量计等类似物从储罐分配至使用端。所有这些气体和液体一般都是按照...
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