技术编号：4390666
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对半导体基板、液晶显示装置用玻璃基板、光掩膜用玻璃基板、光盘用基板等(以下称为“基板”)进行处理的基板处理装置，特别是涉及为了在存放器容置·搬送单元中高效地搬送存放器而进行的改良。背景技术 从以往开始，公知具有存放器容置·搬送单元的基板处理装置，该存放器容置·搬送单元容置存放有基板的存放器的同时，为了在基板处理单元之间交接基板而对存放器进行搬送处理(例如，专利文献1)。这里，专利文献1的基板处理装置具有使加载器10的深度变小而能够减少占地面积...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。