技术编号：4396783
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基板托持机构，其例如应用在用于搬运半导体基 板的机械手上。背景技术从现有技术的角度来看，在半导体制造领域中，使用具有多关节臂的基板搬运机器手来搬运基板。图7是表示这种现有的基板搬运机 器手的大致结构的立体图。该基板搬运机器手l具有驱动部2;臂 3，其为多关节构造并与该驱动部2相连接；末端执行器4 (手)， 其与臂3的前端相连接。末端执行器4用其上表面来托持基板的背面， 在成膜室和蚀刻室等多个处理室之间进行基板的搬运，或与平台、基 板收纳箱之间...
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