技术编号：4461886
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及可有利地用于制造电子器件、光学部件、存储介质等的，特别涉及微细加工技术的纳米压印。背景技术使用光或电子射线的微细加工技术的进展显著，用光实现了 IOOnm的加工，用电子射线实现了 IOnm的加工。然而，由于这些微细加工装置昂贵，因此需要更廉价的加工技术。根据这种目的，正在逐步确立通过纳米压印技术(nano-imprint technology)来在硅基板等上形成所需的电路图案等的方法。与以往的冲压技术(press technology)相比，纳米...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。