技术编号：4673396
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对被热处理物进行热处理的热处理装置。背景技术目前公知的热处理装置， 一边使热处理室内的空气循环一边加热热处理室，以对收容在热处理室内的被热处理物进行热处理。这样的热处理装置，例如，可以在平板显示器(F lat Panel Display)的制造过程中用于对光阻(Photo Resist)或有机薄膜的预烘(Pre-Bak e)工序、后烘(Post bake)工序。在这些工序中，当对玻璃基板等被热处理物进行热处 理时，光阻等所包含的挥发性成分汽化而...
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