技术编号:4681311
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种气体设备,尤其是一种气瓶组真空干燥装置。 背景技术常用的气瓶组真空干燥装置其最终的真空度一般为5 ~ 10 x 10 —2Pa,其结构组成通常包括真空泵、截止阀、真空压力表、气管、干燥箱、气瓶夹具、波紋管、填气阀和放空阀,如周文国在1993年第二期《深冷技术》上发表的d高纯度气瓶干燥抽真空最佳操作方法3 —文中就提到上述的气瓶组真空干燥装置。然而上述的装置抽气速率低,精确度差,真空度也不能满足现有高纯度气瓶的需求。 发明内容针对上述存在问题,...
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