技术编号:4683051
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种机械装置,尤其涉及一种干燥既全面又彻底、成本较低的硅片旋转甩干装置。背景技术传统的装置具有以下的不足之处1)干燥程度不彻底、不全面;2)成本较高、性价比不高。实用新型内容为了克服现有技术中的缺陷,本实用新型提供一种干燥既全面又彻底、成本较低的硅片旋转甩干装置。 本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是 —种硅片旋转甩干装置,包括一槽体,该槽体中心位置具有一旋转轴,该旋转轴自上而下设有轴承、花篮,所述旋转轴的下端与一同步带轮相连接,该同步...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。