技术编号：4707201
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及用于电池片扩散掺杂工艺中的高温扩散炉，尤其涉及一种用于带冷却系统的高温扩散炉。背景技术卧式闭管高温扩散炉在光伏太阳能行业作为主要的扩散掺杂设备，技术已日臻成熟。现有的高温扩散炉均采用一体式柜式结构，通过抽风强迫冷却的方式对其炉体部分进行冷却。其缺陷是1、由于是柜式结构，通风性较差，散热不好，导致柜内温度过高，影响电气设备的正常工作，严重时可直接导致电控设备中的可控硅击穿失效。2、生产工序中包括升温、保温和冷却步骤，由于散热不良，导致冷却时间过...
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