技术编号：4754551
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种排气系统。 背景技术考虑到半导体制造工艺中所使用的化学物质种类繁多，且多数是有毒、腐蚀性、易 燃性或易爆性等特质，因此在半导体制造工厂内配置有排气系统。一般，为了避免不兼容的化学物质使用相同的排气管路而造成爆炸燃烧或排气管 路材质与输送化学物质间的不兼容性导致管路腐蚀破损进而造成有害物质外泄等危险，原 则上是将整个工艺排气系统根据气体的特质而划分为多个排气子系统。图1显示了现有技 术中的排气系统的架构示意图，如图1所示，整个排气系统大致分为酸...
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