技术编号：4832358
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于一种清除硅基板上粘附的碎片的方法，且特别是一种在硅基液 晶显示器制造过程中，。背景技术硅基液晶(Liquid Crystal on Silicon, LCOS)是制作在单晶硅或多晶硅上 的一种液晶显示器件，与传统的显示技术相比具有尺寸小、分辨率高的特点， 因而受到广大消费者的欢迎。硅基液晶显示器在制造过程中，通常都需要用到硅片切割机来切割硅基 板，传统的硅基板切割工序用到一片圆形切割刀，高速地切开硅基板，在这个 过程中会产生大量硅碎片，部分硅碎片...
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