技术编号：4920962
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例公开了一种颗粒收集装置以及设有该颗粒收集装置的尾气处理系统，属于半导体加工。解决了现有的颗粒收集装置难以有效地收集尾气中的颗粒物，导致进入下一阶段的尾气处理装置中的尾气仍然具有很高颗粒度的技术问题。该颗粒收集装置，包括管道本体和滤网；所述管道本体的下方为进气口，上方为出气口；所述滤网设置于所述管道本体的内部，并且罩住所述出气口。本发明用于对半导体刻蚀工艺中产生的尾气进行处理。专利说明 [0001] 本发明属于半导体加工，具体涉及一种颗粒收...
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