技术编号：4927567
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种用于真空镀膜设备的冷凝装置，包含有一进气管、一出气管，以及一介于进气管与出气管之间的冷阱组件，冷阱组件具有一第一弧形弯管及一第二弧形弯管，第一弧形弯管与进气管之间、第一、第二弧形弯管之间，以及第二弧形弯管与出气管之间分别藉由一个冷阱管而两两连接在一起，各冷阱管内设有一障板组，各障板组具有多数个相互并排的倾斜障板及一贴抵于各倾斜障板的冷却水管，藉此，来自腔体内的蒸气在通过冷阱组件的过程中会顺利凝结在各倾斜障板的表面，并能避免对第一弧形弯管及第二弧形弯管造...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。