技术编号:4938187
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及处理嵌段共聚物溶液的方法,其中所述方法包括提供包含在非水性溶剂中的嵌段共聚物的溶液;和使用阴离子交换树脂处理所述溶液以除去金属。本发明还涉及使用经处理的嵌段共聚物形成图案的方法。专利说明用于除去嵌段共聚物中的金属的方法和材料 [0001] 本专利申请属于电子材料和方法领域。更具体地说,本文公开和要求保护的是从 嵌段共聚物中除去污染物的方法。 背景技术 [0002] 随着纳米级机械、电气、化学和生物学器件和系统的开发增加,需要新的方法和材...
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