技术编号：5026533
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型有关一种过滤器排泡装置，特别是一种独立于生产机台的排泡装置。背景技术现有的半导体药液的过滤装置大多内建于生产机台内，如光刻胶涂布机、显 影机及湿式蚀刻机等，若需更换过滤装置的过滤器必须停机更换新的过滤器后，再经过预湿(pre-wet)程序将过滤器内的气泡排除，而此预湿程序通常需花费数小 时的时间，才能将过滤器内的气泡完全排出。若过滤器内的气泡没有完全排出则 气泡中的污染物(contaminations)会经由管路附着在产品上而影响产品良率。图1 ...
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