技术编号：5041029
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及高纯化学品的生产设备，具体来说涉及一种高纯化学品溶解器。 背景技术高纯化学品是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗和腐蚀。它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。超净高纯化学品具有品种多、用量大、技术要求高、贮存有效期短和强腐蚀性等特点。高纯化学品中的碱金属杂质(Na、Ca等)会溶进氧化膜中，从而导致耐绝缘电压下降；若重金属杂质(CU、Fe、Cr、Ag等)附着在硅晶片的表面上，...
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