技术编号：5043782
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及ー种三氯氢硅提纯尾气回收装置。背景技术三氯氢硅是合成有机硅的重要中间体，也是制备多晶硅的主要原料。制备三氯氢硅比较成熟的エ艺是采用金属硅粉和气体氯化氢制备，其主要流程包括氯化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅分离提纯等主要エ序。三氯氢硅制备过程中分离提纯エ序产生的尾气主要成分是三氯氢硅、四氯化硅和 少量氢气，其处理方法是国内业界的热点话题之一，现有技术中ー股采用尾气一水喷淋中和处理法、活性炭吸附法、气液交換法等。其不足之处是这些尾气的处理都没有很...
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