技术编号：5056775
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于一种分离除尘包装系统的装置，更具体地说，是关于应用于多晶硅废气焚烧的分离除尘包装系统。背景技术多晶硅尾气各主要成分的体积分数分别约为HC1 30%;H2 64. 2%;SiHCl3 5.4%； 其他0.2%。多晶硅尾气均为可回收的产品或可循环使用的原料。对尾气进行有效的治理， 不仅可以提高原料的利用率，还可以降低三废的排放量。为了合理治理尾气，必须根据尾气的特性、成分、压力等，选择适当的工艺流程和技术条件。多晶硅生产中，对产生的废气进行处理，以前...
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