技术编号：5096787
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微平版印刷术领域。现有技术电子元件的微型化，对其而言分辨率必须降至低于1微米，基本上通过照相平版印刷技术达到。分辨极限在此由用以描绘原图的射线的波长预先确定，使得必须使用短波辐射，如高能量UV辐射、电子束和X-射线。因为越来越小的结构会发生衍射效应，通过照相平版印刷术而结构化能达到其物理极限，该极限在约150纳米。另一方面，对于分辨率、壁斜度(Kantensteilheit)和纵横比(高度与分辨率的比)的要求越来越高，照相平版印刷法结构化所需设备...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。