技术编号：5102298
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种粒子光学仪器，具有一个用于容纳待检样品的真空室，该真空室工作时由一台与其相连接的真空泵抽真空至最终压力，一个向该真空室输入气体或蒸气的装置，该气体或蒸气是由一个具有已知压力的容器供给的。上述真空泵与上述真空室相连接呈现第一气体电导率，和用于供给气体的装置呈现第二气体电导率。背景技术 欧洲专利申请EP 0969494 A1公开过这一类粒子光学仪器。这种仪器被称为例如SEM(扫描电子显微镜)，并用于例如半导体工业以检查和/或分析取自晶片的样品。在...
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