Libs光谱探测及显微成像的多功能系统的制作方法技术资料下载

技术编号:51596

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专利摘要本专利涉及一种LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统,其主要特征在于将一片施密特校正板插入主镜与被测物体的光路中,施密特校正板的一面设计成高次非球面,施密特校正板最主要的作用是校正主次镜产生的球差,其不仅使得激光聚焦光斑直径变得更小,还可以使得该LIBS系统具有光谱探测和显微成像的双重功能。专利说明LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统技术领域[0001]本专利涉及光学设计领域,尤其是一种LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统。背景技术[0002]LIBS技术(激光诱导击穿光谱探测技术)是一种利用高功率激光...
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