技术编号：5175640
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般是涉及电子装置制造系统，特别是一种改进除污系统 (abatement system)操作的方法及设备。背景技术电子装置制造工具传统地是利用适以进行工艺(例如化学气相沉积、 外延硅生长、蚀刻等)以制造电子装置的反应室或其它适合设备。该些工 艺可能会产生具有不希望存在的化学物质的废弃物(工艺的副产物)。传 统的电子装置制造系统是利用除污设备来处理上述的废弃物。传统的除污单元及工艺利用多种来源(例如试剂、水、电力等)来 处理废弃物。而此种除污单元 一 ...
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