基于压电陶瓷驱动的透射电子显微镜双轴倾转原位力学样品杆的制作方法技术资料下载

技术编号:51863

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专利摘要基于压电陶瓷驱动的透射电子显微镜双轴倾转原位力学样品杆属于材料显微结构?力学性能原位表征领域,包括杆身主体和压电陶瓷驱动系统两部分。样品杆杆身主体包括倾转台、样品杆、直线步进电机、驱动杆、驱动连杆。压电陶瓷驱动系统包括压电陶瓷载台、压电陶瓷、连接座及可实现拉伸或压缩功能的样品载台。通过步进电机使驱动杆前后往复运动,实现样品在X和Y轴的双轴倾转。通过施加电压使压电陶瓷产生位移并通过连接座来推动样品载台,从而实现对样品的拉伸或压缩。本样品杆与高分辨TEM配合,在进行原子尺度、甚至亚埃尺度显微结构观测的同时,对纳...
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