基于工艺残余应力的微型二维振动能采集器的制作方法技术资料下载

技术编号:5266068

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本发明属于可再生能源领域,特别涉及到微机电系统(MEMS)技术和将环境动能转换为电能的微能源技术。背景技术将环境中的物理能(如光能、热能、机械能等)转换为电能的微能源(如微型太阳能电池、微型热电池、微型振动能采集器等)具有低成本、小体积、长寿命、易集成、不需更换或充电等诸多优点,特别适合于为无线传感网络节点等供电,受到国内外广泛关注。微型振动能采集器可以将环境中广泛存在的振动能转换为电能,是目前微能源研究的热点。尽管实际环境中的振动往往具有三维特征(如人体...
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