技术编号：5266196
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电系统和微光学领域，特别涉及一种圆片集成微透镜光学系统制作方法及该器件结构。背景技术透镜作为光学系统中一个基本部件，其在光学系统中的应用也日益普遍。在众多光学系统中，必须将透镜和光学器件进行组装才能形成一个完整意义上的光学系统。随着微加工技术和微光学技术的发展，尺寸小于毫米量级的微透镜已能成功制作，微透镜也已成为一个研究热点。微透镜的出现使得微型光学系统变得可能，微透镜的应用也已日益普遍。比如，在CMOS图像传感器中，一般都通过微透镜来减小成...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。